真空淬火已大量應用于各種滲碳鋼、合金工具鋼、高速鋼和不銹鋼的淬火，以及各種時效合金、硬磁合金的固溶處理。
真空滲氮是使用真空爐對鋼鐵零件進行整體加熱、充入少量氣體，在低壓狀態(tài)下產生活性氮原子滲入并向鋼中擴散而實現硬化的。
發(fā)達國家，如日本使用的鹵素系清洗劑的比例如表1所示。其中三氯乙烷、氟里昂因屬破壞大氣臭氧層物質，已被禁止使用。其他鹵素系物質也因對生態(tài)環(huán)境、人、畜有害而被限制使用。
所以各國都在研究各種替代型的清洗干燥技術。真空水系清洗干燥技術是替代技術中發(fā)展的主流，其原理是水蒸氣蒸餾和真空蒸餾。
真空油系清洗干燥技術，是指用蒸汽壓比較高的輕質溶劑油去溶解和洗凈工件上附著的蒸汽壓化較低的切削油、沖壓油、淬火油；然后再加熱減壓將溶劑油蒸發(fā)分離，從而達到洗凈的目的。
真空中的淬火有氣淬和液淬兩種。氣淬即將工件在真空加熱后向冷卻室中充以高純度中性氣體（如氮）進行冷卻。適用于氣淬的有高速鋼和高碳高鉻鋼等馬氏體臨界冷卻速度較低的材料。液淬是將工件在加熱室中加熱后，移至冷卻室中充入高純氮氣并立即送入淬火油槽，快速冷卻。如果需要高的表面質量，工件真空淬火和固溶熱處理后的回火和沉淀硬化仍應在真空爐中進行。
當前真空高壓氣冷淬火技術發(fā)展較快，相繼出現了負壓（<1×105Pa）高流率氣冷、加壓（1×105～4×105Pa）氣冷、高壓（5×105～10×105Pa）氣冷、壓一（10×105～20×105Pa）氣冷等新技術，不但大幅度提高了真空氣冷淬火能力，且淬火后工件表面光亮度好，變形小，還有、節(jié)能、等優(yōu)點。真空高壓氣冷淬火的用途是材料的淬火和回火，不銹鋼和特殊合金的固溶、時效，離子滲碳和碳氮共滲，以及真空燒結，釬焊后的冷卻和淬火。